三室互联磁控溅射系统
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
购置日期 : 2019-06-11
规格型号 :
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 156010-2102002-000072375
[ 联系信息 ]
联系人 : 徐从康
存放地址 : 理学院小平房
联系电话 : 18912392728
联系邮箱 : ckxu@stu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
溅射镀膜
主要规格及技术指标 :
非标定制SKY
