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光谱型椭圆偏振光谱仪,主要测试薄膜或块体材料的光学常数(如n,k等)及薄膜的厚度
光谱范围210-1650nm,大光斑模式2-4mm,微光斑模式200微米,入射角45-90°,样品台支持Z向、俯仰调节,