DMD数字掩模光刻机
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 晶萃光学JCOPTIX
购置日期 : 2023-06-20
规格型号 : Optron-80
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 857398
[ 联系信息 ]
联系人 : 张士元
存放地址 : 理学院220
联系电话 :
联系邮箱 : shiyuanyzhang@stu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
主机、笔记本电脑
主要功能及特色 :
可进行液晶光控取向，光敏材料光刻等样品制备
主要规格及技术指标 :
曝光光源405nm LED；光源不均匀性：< 5%；均匀光斑尺寸：≥ 20 mm × 12 mm。DMD芯片像素：1920 × 1080（7.56 μm/p）；单个像素大小：7.56 μm；单幅曝光尺寸：1.5 mm × 0.82 mm（10X）；最高分辨率：≤ 2 μm（10X物镜）；曝光倍率：2X，5X，10X。偏振对比度：> 4000:1（@405 nm）；线偏振方向精度：±0.5°；自动调焦精度：优于±2μm。样品台位移Z向运动范围：±1.5 mm、重复定位精度：±0.5 μm。
