液晶器件制备与测试实训系统（GCLCDP-B），1套，出厂编号：2601050019；配件如下： 1、摩擦机1台，出厂编号：20260304001； 2、激光共聚焦1台（附件：控制器1个、手柄1个）； 3、控制系统1台（附件：显示器1个）； 4、点胶机1台（附件：高效过滤器1个、风机1个、显示器1个），出厂编号：20260304002； 5、机械手1个；出厂编号：20260304003； 6、点胶控制器1个；出厂编号：20260304004； 7、控制电源1个（附件：电源线1根）；出厂编号：2601050019； 8、空压机1台； 说明书1本，装箱单1份；合格证1个。

一、功能要求： （1）标准液晶盒的封装； （2）常规/非常规液晶的检测及缺陷分析； （3）芯片逻辑结构及缺陷分析。

主要技术要求： 1.工作台通过精度全行程≤20μm。 2.滚子支架固定，不回转。 3.滚子跳动≤15μm。 4.滚子与工作台板平行度≤20μm。 5.驱动顶尖跳动量≤15μm。 6.滚子动平衡≤2g（当转速为1600rpm时）。 7.滚子下降位置重复性≤±3μm。 8.工作台平面度≤10μm。 9.工作高度：900mm。 10.滚轮角度采用手动方式设定；手动调整滚轮摩擦角度，角度范围0~±8度（刻度尺指示角度值，刻度分度≤ 0.5 度）；角度固定方法为手把锁紧；下降位置调整工艺参数（玻璃厚度、摩擦布毛长、摩擦深度） 在触摸屛上设定，设备计算出滚筒和工作台面间距离，由步进电机驱动自动调整；下降位置调整最小步距：0.02mm；滚轮规格：直径130mm×长度490mm ， 铝制，带平衡器结构，无表面处理；转速范围：0~1600RPM，在触摸屏上设定；滚轮转动方向：可设定正转或反转；转矩在触摸屏上显示。 11.工作台尺寸为200×200mm；工作台材质：不锈钢；驱动形式为伺服电机；传动方式为滚珠丝杠；进给速度为6～500mm/sec，在触摸屏上设定；玻璃固定方式为真空吸附＋薄膜治具限位。 12.滚轮两侧装有除静电枪（除静电空气回路中装有过滤器）。 13.电气控制系统采用可编程序控制系统；触摸屏操作面板；控制盒配有START按钮，紧急停止按钮，报警蜂鸣器。 14.摩擦方向可在三种模式中选择：单向摩擦/往返摩擦/单向多次摩擦；滚子可选择正转/反转。 15.设备保护罩为防静电透明 PVC板。 16.采用螺旋弹簧额阻尼橡胶组成的减震装置，内置波长405nm半导体激光和LED白光光源。 17.激光光源最大输出0.95mw，属于2类激光。 18.变焦系统：1-8倍变焦系统。 19.放大倍数：倍率调节范围：108-17280倍或更宽。 20.反射式双共聚焦扫描系统，配备两个共聚焦光路，对含有不同反射率材料的样品，也能获得清晰的图像。 21.观察模式：具有：彩色明场，彩色偏光，激光明场观察。 22.可测量高达87.5°的大角度斜面。 23.高度显示分辨率0.5纳米，动态范围≥16位，平面显示分辨率1纳米。 24.单次测量时，测量点的最大数量：4096X4096像素，测量点的最大数量：3600万像素。 25.最大样品高度：100mm。 26.平面光学分辨率0.12um，平面测量显示分辨率1nm。 27.Z轴：Z轴驱动采用物镜转盘上下驱动方式，移动行程10mm，非载物台上下驱动方式，不会产生载物台驱动方式导致的垂直度不良的问题。 28.Z轴采用0.78nm光栅尺，Ｚ轴测量分辨率5nm，测量显示分辨率0.5nm; 29.测量精度：Z轴测量精度：重复性精度（σn-1 ）：10X 倍物镜≤0.1μm、20X≤0.03μm、50X≤0.012μm、100X≤0.012μm；准确度≤0.15 + L/100μm(L：测量长度[μm])；X，Y平面测量精度：重复性精度（3σn-1）：20X≤0.05μm、50X≤0.04μm、100X≤0.02μm；准确度≤测量值的±1.5%。 30.物镜转盘：可同时安装6个物镜，物镜转换由电动马达控制，物镜切换时，物镜自动升高后，再切换，更好保护物镜及样品，并通过显微镜操作软件设定实现物镜自动切换。 31.与显微镜配套使用物镜，10倍以上是专门针对激光显微镜开发的激光共焦专用物镜； 5倍物镜：数值孔径0.15，工作距离20.0mm； 10倍物镜：数值孔径0.30，工作距离10.4mm； 20倍物镜：数值孔径0.60，工作距离1.0mm； 50倍物镜：数值孔径0.95，工作距离0.35mm； 100倍物镜：数值孔径0.95，工作距离0.35mm。 32.超声波电动载物台，行程100×100mm。 33.Z轴扫描模式：Z轴扫描层数可选择精细、标准、高速共三种扫描模式进行选择，能设置扫描跳过区域,具备激光HDR与4K扫描技术。 34.实时全景宏观地图，连续自动对焦，彩色高动态光照渲染HDR观察，彩色及激光双模观察。采用PEAK算法和双向扫描测量。并具有特性的跳跃扫描功能。 35.拼接模式，可拼接照片范围≥2500张。 36.具有测量两个指定区域之间的台阶高度和距离，角度差，指定区域的体积，自动检测制定区域的边缘测量宽度。 37.测量透明体薄膜厚度量测和界面高度，多层模式的测量。 38.使用直径0.4微米的激光束扫描样品表面。 39.智能物镜选择：实现粗糙度测量，启动智能物镜选择助手，软件会推荐适合的物镜帮助分析测量。 40.系统控制器：工作站内存32GB，独立显存2GB，硬盘容量1TB。 41.显示器：24inch，4K分辨率显示器。 42.控制系统： （1）3D补正功能：通过3D校准及模拟功能，可以根据工件的倾斜或变形量进行XYθ的校正。 （2）高度测量功能：通过高度测量传感器对工件高度差进行补正。 （3）喷嘴高度检出功能：更换针头时所产生的针嘴位置检出功能。 （4）喷嘴XY 位置检出功能：喷嘴前端XY位置检出功能。 （5）喷嘴间隙补正功能：通过高度测量以及喷嘴高度检测功能保证一定的喷嘴点胶间隙。 （6）自动对焦功能：通过自动对焦功能决定相机焦点坐标（自动运行时不可对应）。 （7）影像式样：256 灰阶画像、512×480pixel。 （8）视野：3.8mm×3.4mm（1 倍透镜）。 （9）高度测量方法：非接触式传感器。 43.机械手： （1）控制轴数：3轴。 （2）动作范围：X、Y：≥300mm；Z：≥80mm。 （3）PTP动作最大速度范围X、Y:1~500mm/s或更宽范围;Z：1~400mm/s或更宽范围。 （4）补正动作速度设定范围：X、Y:0.1~500mm/s或更宽范围;Z：0.1~400mm/s或更宽范围。 （5）反复定位精度：X、Y:±0.01mm；Z：±0.01mm。 （6）可搬重量：Y轴：≥20Kg；Z轴：≥15Kg。 （7）控制方式：编程器及PC控制。 （8）程序显示语言：中文。 （9）程序容量：程序完整。 （10）程序数据保存方式：内部：闪存， 外部：由程序编辑软件向计算机做备份。 （11）电源·消耗电力：AC100~240V 50/60Hz。 （12）外形尺寸：W610mm×D670mm×H590mm。 （13）重量：55Kg。 44.点胶控制器： （1）控制方式：微电脑控制电动/气动方式。 （2）点胶方式：气动脉冲方式。 （3）点胶气压调整范围：0.03~0.5MPa或更宽范围（外部供给气压≥300KPa、≤800KPa；控制器接≥6mm气管）。 （4）点胶时间设定：0.01~9999.99sec。 （5）RS-232C串行通信：可实现。 （6）真空回吸压力设定：－0.02~0MPa。 （7）频道数：100CH。 （8）具备包括但不限于以下功能：水头差自动修正、自动防止滴漏、自动余量警告、α修正、δ修正、真空压力修正、余量显示修正、点胶计数器、秒表，供给压力错误、排气错误、真空压力错误、电磁阀错误、电磁警告。 （9）电源、消耗功率：AC100~240V 50/60Hz·30W。 （10）外形尺寸、重量：W300×D300×H100mm·5.8Kg。 45.控制电源：4.3寸液晶屏，两路电压输出控制，正高压和负高压0-1000V的控制范围，连续可调，调节采用触摸控制。 46.空压机：功率4KW，排气量600L/MIN，重量115KG，排气压力8公斤，220V交流供电，带壳一体。 47.配置清单要求：控制系统1套、机械手1套、点胶控制器1套、控制电源1套、空压机1台。