紫外光刻机
[ 基础信息 ]
生产国家 : 国产
制造厂商 : 中国科学院光电技术研究所
购置日期 : 2021-10-28
规格型号 : URE-2000/35AL
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 830185
[ 联系信息 ]
联系人 : 郭为进
存放地址 : 科技楼606
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
曝光光学系统、对准显微镜、工作台、电控系统、单片机系统、视频图像系统
主要功能及特色 :
具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
主要规格及技术指标 :
曝光面积150mm×150mm，分辨力1μm，对准精度±0.8μm，样片尺寸Φ15mm - Φ150 mm，样片厚度0.1mm - 2mm
