主要规格及技术指标

1. 光学系统：Paschen-Runge型
2. 焦长：500mm
3. 光栅：HJY公司专利技术，离子刻蚀全息光栅
4. 刻线数：2400gr/mm
5. 光谱范围：110-620nm
6. 5个标准光学通道
7. 标准4mm阳极全套组件，如需要可换成2mm与7mm阳极。
8. QUANTUM软件可用于基本分析和逐层表面分析

主要功能及特色

多色仪有47个通道，可同时测试47种元素；单色仪可由于47种元素之外的测试。

主要附件及配置

单色仪；DIP附件可进行实时溅射深度的测量